原创2022-09-23 19:37·投研双杰
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光刻机、台积电、三星:谁是全球芯片战争的胜负手?
为了摆脱多国疯狂制裁、受制于人的局面,俄罗斯首期豪掷6.7亿卢布(约840万美元,2022年4月16日汇率),向芯片制造的命门——光刻机,发起进攻。而当今世界上最先进的光刻机制造商ASML(阿斯麦),一台EUV(极紫外线)光刻机的价格约为2亿美元。
并且,俄罗斯要研制的,不是普通的光刻机,而是极为先进的X射线光刻机。这要是成功啊,性能将吊打ASML的EUV光刻机。
俄罗期要小力出奇迹了吗?你觉得俄罗斯的X射线光刻机会成功吗?
这事要是成了,我们从俄罗斯进口这先进设备,就不用再受美国和欧洲的鸟气了。如今,我们还止步于14纳米的落后芯片制程,而(中国)台积电、三星都在向着3纳米制程进军。
因为美国,中兴、华为惨遭无理打压断芯,过了4年,我们从ASML订的EUV光刻机还没有运到。
美国不让ASML卖给我们光刻机,就是为了卡住我们芯片产业的脖子。
那么,问题来了:
ASML为何如此强大?
为什么一家荷兰公司要听美国的话?
我们为什么会依赖ASML?
将来,我们能否摆脱对ASML的依赖?
今天,投研双杰,就来解答这些问题。
干掉日本美国现在,ASML的市值已高达2407亿美元,超过大家耳熟能详的英特尔1860亿美元的市值。
2021年,ASML的营收为201亿美元,同比增长33%。更可怕的是,这一年,ASML还获得了283亿美元的订单,同比增长超过200%。
ASML的客户,都是台积电、三星、英特尔等等别人喊“爸爸”的巨头,但到了ASML这里,这些科技巨头都得喊ASML“爸爸”,以求ASML早点发货。
和所有的超级英雄故事一样,今天芯片行业的共同“爸爸”——ASML,起家时,只是一个穷小子。
1984年,荷兰科技之城埃因霍温(Eindhoven),飞利浦豪华大厦外的简易板房里,电子巨头飞利浦的子公司ASML成立了。
和别人爹亲娘爱被当做小宝贝不同,ASML一出生就被飞利浦当成了奇葩和弃子,扔在一旁,不闻不问,不管不顾。谁也不会想到,这家垃圾堆旁的寒碜小公司,会在多年以后踢下不可一世的日本尼康,成为首屈一指的芯片巨头。
尽管条件艰苦、困难重重,ASML还是靠着初生牛犊不怕虎的精神,在成立的第一年就“折腾”出了其首台光刻机PAS 2000。不过现实是残酷的,当时的光刻机市场,是美国、日本的天下,一家没啥名气的荷兰小公司推出的产品,没人正眼看一下。
刚开始,ASML那是屡屡碰壁,连年亏损。直到1991年,经过多年的持续努力和不断改进,靠着推出的突破性光刻机PAS 5500,ASML才止住颓势,扭亏为盈。此后,ASML迅速打开局面,并于1995年迎来高光时刻,在阿姆斯特丹和纽约证券交易所成功上市。
资本市场的助力让ASML如虎添翼,到2000年代,ASML大举扩张,将硅谷集团(Silicon Valley Group)等高科技公司和西盟科技(Cymer)等关键供应商收入囊中。
而真正奠定ASML“光刻机一哥”地位的,是一项极具革命性的前沿技术——EUV光刻。
EUV光刻使用波长极短的极紫外光作为雕刻光源,拥有极高的打印精度,是目前生产7纳米以下制程先进芯片的唯一技术,苹果的iPhone“十三香”芯片,使用的就是EUV光刻技术。
而上一代的DUV(深紫外线)光刻,由于使用的深紫外光波长是极紫外光的10几倍,打印精度就要大打折扣,主要用来生产冰箱、汽车电子设备等使用的低性能芯片。
早在1997年,ASML就开始研发更先进的EUV光刻技术。先进是先进,但这种技术也是一头吞金巨兽,花起钱来那叫一个哗啦啦如流水啊,到2012年,财大气粗的ASML也扛不住了。
为了解决资金难题,ASML想出了一个妙招——“客户联合投资计划”。简单来说,就是接受客户注资,让其成为股东的同时享有先进光刻机的优先订货权。这一革命性的策略获得巨大的成功,ASML和客户取得双赢,不管是ASML的研发资金,还是客户的先进光刻机需求,都得到了满足。
果然ASML的三大客户英特尔、台积电和三星纷纷出资,积极响应。就这样,ASML用23%的股权换来53亿欧元的长期资金,扫除了EUV光刻机研发投入的后顾之忧。
最终,ASML借势发力,成功研制出先进的EUV光刻机并实现量产,成为这个尖端领域的唯一玩家。
揭秘EUV光刻先进的EUV光刻技术,彻底变革了芯片制造。
芯片由硅做成,这种元素来自于地球上常见的岩石和沙子,它们经过提纯、融化,然后被切割成圆形晶片。每个晶片有几十个薄层,分布在上面的数十亿个晶体管决定了芯片的功能。
比如风靡全球的“地表最强手机”iPhone,其微处理器芯片就拥有超过100亿个晶体管,这些晶体管将决定iPhone的运行速度和各种性能。
通过光刻技术,可以打印这些薄层。当机器投射出的精确光线击中涂有光刻胶的晶片表面时,会以极高容量在每一层打印出芯片的微小设计。
而投射光线的波长越短,打印出的特征设计就越小,这意味着芯片的体积更小、速度更快、功耗更低。
目前最先进的EUV光刻技术使用的,就是波长只有13.5纳米的极紫外光,这一数值仅仅是5条并列DNA链的宽度,因此,其雕刻精度极高,打印出的芯片性能也极为优良。
而这种高精度也对环境和设备部件提出了极为苛刻的要求。
比如,EUV洁净室里的空气比外面干净10000倍,为了保护机器免受污染,进出人员都要穿上包裹严密的防护服。
而产生用于雕刻的EUV光,要用到在4000psi(磅力/平方英寸)高压下喷射出的熔融锡。
熔融锡被喷嘴以每秒50000滴的速率喷出,一束30千瓦的二氧化碳激光每秒击中液滴2次,将其蒸发为等离子体,这些微小爆炸将发射出EUV光子。因为只有约5%的光子能到达晶片,这就需要大量的锡爆炸。由于这些光子将很快被镜子吸收,精确追踪它们要用到专属镜头。
为了确保打印精度,ASML和德国光学公司蔡司(Zeiss)合作,制造出了世界上最平坦的镜子。如果把这种普通书桌大小的镜子放大到荷兰那么大,整个镜面最大的凸起大概只有1毫米。
通过这些令人惊讶的蔡司镜子,EVU光不断反射,直到击中晶片表面的光刻胶,打印出芯片中的微小设计。这一精度就像从月球发射一束激光,刚好击中了地球上的一枚硬币。
高效运转的EUV光刻机,每天大概能生产3000个晶片,而每个晶片可以包含数百个芯片,这样,上百万的芯片就被源源不断地生产出来了。
垄断芯片市场EUV光刻机体型庞大,生产和运输都是个难题。
不过好在,它能被拆分为7个模块,ASML遍布全球的站点完成每一部分的建造后,再被运到荷兰的费尔德霍芬(Veldhoven)总部进行组装和测试,之后再次拆卸以便运往订购的芯片制造商。
EUV光刻机贵得离谱,一台高达2亿美元,放眼世界,只有5个客户能买得起:美国美光(Micron)、SK海力士(SK Hynix)、三星(Samsung)、英特尔(Intel)和台积电(TSMC),这其中啊,后三者又是“冤大头”,在ASML的业务占比高达近85%。当然,还有东方大国的一些公司真心想买,ASML也真心想卖,但在“世界警察”的横加干涉下,交易始终无法完成。
EUV光刻机不仅造价高昂,而且制造极端复杂,一年也造不了多少,是不折不扣的奢侈品。最近几年芯片供应紧张,又给光刻机的制造蒙上了一层阴影。光刻机是能制造芯片,但制造光刻机本身也需要大量芯片,芯片短缺会限制光刻机产量,而这又会限制芯片产量,造成更严重的芯片短缺。真的是鸡也缺,蛋也缺。
2021年,ASML只卖了42台EUV,而10年来,其总出货量也就140 台。不是ASML不想多卖,是它造不出那么多。
这种芯片制造的高门槛让很多市场参与者不寒而栗,直呼玩不起。在5年前或更早,因为承受不了EUV的天价,美国芯片制造巨头格罗方德(Global Foundries)就明确表示,他们不会追求先进的7纳米制程芯片。
在EUV之前,向哪家厂商购买光刻机,芯片制造商还有得选,除荷兰ASML之外,日本尼康和佳能都能提供不错的产品。
但到了EUV领域,芯片制造商就选无可选了,因为ASML是这个市场的绝对垄断者,目前而言,整个地球上,只有ASML一家能造出EUV。
任何其他公司想要迎头赶上,都可能需要数十年。这是因为,拼搏多年,ASML已手握大量的核心专利技术,并且,ASML还和全球近 800家供应商建立了复杂的独家交易关系,这两大要点卡住了EUV制造的脖子,其他公司根本就绕不过去。
就像ASML CEO温彼得(Peter Wennink)所说的那样,“我们对客户来说是独一无二的,就像一些供应商对我们来说是独一无二的。有人说这种几乎共生的关系比结婚更糟糕,因为你不能离婚”。
就连ASML自己也害怕供应链风险,为此,它会直接收购一些供应商,比如,2020年,其就收购了主要制造特殊玻璃的柏林格拉斯集团。
芯片战争的最后赢家是谁?如今,世界上一半的最先进芯片,由ASML的两个客户台积电和三星在亚洲制造,这种局面让欧美很是担忧。
为了减少海外依赖,维护国家安全,他们脸都不要了,阳的阴的全部用上,绞尽脑汁,就想增加本土芯片产能。
今年2月,美国众议院通过了长达2900多页的《2022美国竞争法案》,其中重要一条就是将为美国芯片制造商提供高达520亿美元的补贴。
此前,美国也曾向台积电、三星等公司施压,要求其赴美设立芯片工厂。
这意味着,美国将需要更多的ASML光刻机。
让人气愤的是,美国自己拼命抢购ASML的先进光刻机,却不让ASML向中国分享最新的芯片制造技术。
早在2018年,中芯国际就豪掷10亿元向ASML订购了一台EUV光刻机,但在美国干扰下,先是工厂神秘失火,后是交货时间一再延迟,直到今天,这台先进的光刻设备也没能运到中国。
并且,通过《瓦森纳协定》,美国还将全球40多个国家绑上了对华光刻机出口管制的战车。更糟糕的是,未来,这一出口管制名单可能扩展到不那么先进的DUV光刻机。
当我们还在为上一代光刻机的交易风险感到担忧时,美国企业却已将目光投向了下一代光刻机。
2022年,英特尔开始采用EUV生产先进芯片,这比台积电晚了足足3年。为了扭转颓势、迎头赶上,英特尔决定采取前所未有的大胆举措:今年初,向ASML订购了一台还在研发中的下一代EUV光刻机——EXE:5000。
EXE:5000造价高达3亿美元,预计2023年首批发售,2025年才能实现量产。与如今的第一代EUV相比,其最大亮点是物镜系统的数值孔径(NA)由0.33大幅提高到了0.55,这将让其分辨率提高了约70%,进一步提升了光刻机的雕刻精度,一举将芯片制程带到2纳米甚至逼近极限的1纳米。
最后,我想说,光刻机作为芯片战争的胜负手,中国正发愤图强,奋力追赶。虽然离世界先进水平还有一定距离,但千里之行,始于足下,正如ASML CEO温彼得所说,“虽然中国不太可能独立造出顶尖光刻机,但也别那么绝对”。
那么,就这一问题,你们的看法是什么样的?
来源:投研双杰
标题:光刻机、台积电、三星:谁是全球芯片战争的胜负手?
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